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申请/专利权人：烟台睿创微纳技术股份有限公司
摘要：本申请涉及红外成像领域，公开了非制冷红外探测器像元结构及其制作方法、红外成像仪，包括基底和微桥结构，微桥结构包括锚柱、桥腿和桥面结构体，桥面结构体包括桥面主体和吸收结构；锚柱和桥腿位于桥面结构体在第一方向的两侧，锚柱位于基底上表面，且通过桥腿与桥面主体连接；吸收结构由桥面主体沿第二方向向两侧延伸；桥面主体用于将热信号转换为电信号，输出电信号至基底的读出电路；吸收结构包括吸收材料层，用于提升像元结构的有效吸收；吸收结构面积为桥面主体的0.5~2.5倍。单层微桥结构中设有吸收结构，且厚度可以很薄，制作工艺简单，在增加有效吸收的同时引入的热容更小，提升器件性能。
主权项：1.一种非制冷红外探测器像元结构，其特征在于，包括：基底（6）和微桥结构，所述微桥结构包括锚柱（1）、桥腿（2）和桥面结构体（3），所述桥面结构体（3）包括桥面主体（4）和吸收结构（5）；所述锚柱（1）和所述桥腿（2）位于所述桥面结构体（3）在第一方向的两侧，所述锚柱（1）位于所述基底（6）上表面，且通过所述桥腿（2）与所述桥面主体（4）连接；所述吸收结构（5）由所述桥面主体（4）沿第二方向向两侧延伸，所述第一方向和所述第二方向垂直；所述桥面主体（4）用于将热信号转换为电信号，并输出所述电信号至所述基底（6）的读出电路；所述吸收结构（5）包括吸收材料层（18），用于提升像元结构的有效吸收；所述吸收结构（5）的面积为所述桥面主体（4）面积的0.5~2.5倍。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台睿创微纳技术股份有限公司 非制冷红外探测器像元结构及其制作方法、红外成像仪
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