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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
摘要：本发明提供了一种分选设备、产品分选方法及装置，涉及半导体加工技术领域。该设备包括：第一端面为圆形的分选腔体、沿第一端面的圆周设置的多个产品传输端口以及设置于第一端面的圆心的转运机构；产品传输端口中的至少一个第一产品传输端口用于放置待分选产品，产品传输端口中的至少一个第二产品传输端口用于放置分选后的目标产品；转运机构用于将产品从第一产品传输端口转移到第二产品传输端口。本发明实施例的方案，能够使分选设备的占用面积不随产品传输端口数量的增加而增加；能够保证机械臂转运产品的过程中移动的距离不随产品传输端口数量变化，减少机械臂额外的移动给分选腔内带来的气流扰动，提高分选设备的分选效率。
主权项：1.一种分选设备，其特征在于，包括：第一端面为圆形的分选腔体、沿所述第一端面的圆周设置的多个产品传输端口以及设置于所述第一端面的圆心的转运机构；所述产品传输端口中的至少一个第一产品传输端口用于放置待分选产品，所述产品传输端口中的至少一个第二产品传输端口用于放置分选后的目标产品；所述转运机构用于将产品从所述第一产品传输端口转移到所述第二产品传输端口。
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权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种分选设备、产品分选方法及装置
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