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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体领域，特别涉及一种获取极紫外光的方法及装置，本发明包括以下步骤：向放电腔室通入预设流量比例的氦气、缓冲气体及可辐射极紫外光的工作稀有气体的混合气体；向放电腔室内通入小于等于15KA的辅助能量使混合气体中氦气、缓冲气体与工作稀有气体均电离为各自的低价态离子并形成初始等离子体；向放电腔室内通入大于15KA的主能量，使初始等离子体中氦气完全电离，缓冲气体及工作稀有气体对应的低价态离子电离为各自高价态离子并形成等离子体回路；工作稀有气体对应的高价态离子在回路中电流产生的磁场下被箍缩产生极紫外光。提高了放电腔内电子的密度，辅助氙气电离，进而提高了氙气的输出效率。
主权项：1.一种获取极紫外光的方法，其特征在于包括以下步骤：向放电腔室通入预设流量比例的氦气、缓冲气体及可辐射极紫外光的工作稀有气体的混合气体；向放电腔室内通入小于等于15KA的辅助能量使混合气体中氦气、缓冲气体与工作稀有气体均电离为各自的低价态离子并形成初始等离子体；向放电腔室内通入大于15KA的主能量，使初始等离子体中氦气完全电离，缓冲气体及工作稀有气体对应的低价态离子电离为各自高价态离子并形成等离子体回路；工作稀有气体对应的高价态离子在回路中电流产生的磁场下被箍缩产生极紫外光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 获取极紫外光的方法及装置
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