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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
摘要：本发明公开了真空镀膜设备及真空镀膜方法，对于该真空镀膜设备，基板输送室能与基板交换室连通或断开，真空镀膜室还能与基板交换室连通或断开；第一平移机构能够带动基板装载架沿第一方向运动；基板交换机构被配置为能带动基板装载架沿第一方向运动，能带动基板装载架沿第二方向运动，且能带动基板装载架沿第三方向升降，第一方向和第二方向相互垂直且均垂直于第三方向；真空镀膜室的中心区域设有中心毂架，以及沿周向围设至中心毂架的外周的多个镀膜源，中心毂架能带动基板装载架绕自身中心轴线转动。该真空镀膜设备的结构简单，占用面积小，降低了真空镀膜设备的生产成本，提升了真空镀膜设备通用性和实用性。
主权项：1.真空镀膜设备，其特征在于，包括两个基板输送室1、基板交换室和真空镀膜室3，其中一个所述基板输送室1、所述基板交换室和另一个所述基板输送室1沿第一方向依次设置，所述基板交换室还与所述真空镀膜室3沿第二方向间隔设置，所述基板输送室1能与所述基板交换室连通或断开，所述真空镀膜室3还能与所述基板交换室连通或断开；所述基板输送室1设有第一平移机构11，所述第一平移机构11能够带动基板装载架100沿所述第一方向运动，所述基板装载架100用于装载基板200；所述基板交换室设有基板交换机构2，所述基板交换机构2被配置为能带动所述基板装载架100沿所述第一方向运动，能带动所述基板装载架100沿第二方向运动，且能带动所述基板装载架100沿第三方向升降，所述第一方向和所述第二方向相互垂直且均垂直于所述第三方向；所述真空镀膜室3的中心区域设有中心毂架31，以及沿周向围设至所述中心毂架31的外周的多个镀膜源32，所述中心毂架31能带动所述基板装载架100绕自身中心轴线转动。
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