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半导体传送设备的动画匹配方法、装置、设备及介质 

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申请/专利权人:无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司

摘要:本申请公开了一种半导体传送设备的动画匹配方法、装置、设备及介质。其中,该方法通过根据半导体工艺流程确定半导体传送设备在执行目标动作时所需的预设时长,以控制半导体传送设备以及虚拟动画中半导体传送设备模型按照预设时长执行或演示当前目标动作;对半导体传送设备在执行当前目标动作时的数据进行采集,确定半导体传送设备在执行当前目标动作所用的当前时长;根据预设时长、当前时长以及半导体传送设备在执行历史目标动作时的历史时长,对虚拟动画中半导体传送设备模型演示下一目标动作时所需的时长进行预测,确定目标时长。本技术方案,实现了对虚拟动画中动作参数的自主纠偏,从而保证半导体传送设备的安全性和工作效率。

主权项:1.一种半导体传送设备的动画匹配方法,其特征在于,所述方法包括:根据半导体工艺流程确定半导体传送设备在执行目标动作时所需的预设时长,以控制所述半导体传送设备按照所述预设时长执行当前目标动作,以及控制虚拟动画中半导体传送设备模型按照所述预设时长演示所述当前目标动作;对所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作时的数据进行采集,确定所述半导体传送设备在执行所述当前目标动作所用的当前时长;根据所述预设时长、所述当前时长以及所述半导体传送设备在执行历史目标动作时的历史时长,构建目标函数;其中,所述目标函数采用如下公式进行表示:,式中,表示时长,表示半导体传送设备执行目标动作的次序;对所述目标函数在所述当前时长处的增量进行求解,确定与所述当前时长对应的梯度;其中,所述梯度为所述当前时长在所述目标函数上对应的变化率;根据所述梯度和预设步长,确定变化时长,并将与所述梯度相反的方向作为所述变化时长的方向;根据所述变化时长和所述当前时长,确定目标时长。

全文数据:

权利要求:

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