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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明公开了一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，包括：数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据；数据校验模块，用于对整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息；数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的错误信息输出。本发明还公开了一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法。本发明能对建模数据进行自动以及全面的校验，能提高校验速度和数据正确性，提高工作效率。
主权项：1.一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于，包括：数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据；需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单，一个所述工艺流程和一个工艺流程模型相对应；数据校验模块，用于对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息；数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出；当需要验证的所有待校验表单的数据都校验成功时，所有校验过的数据都导入到建模系统进行建模以得到所述工艺流程模型。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 用于MES的建模数据验证的建模辅助系统和方法
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