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申请/专利权人：苏州思铂创半导体科技有限公司
摘要：本发明属于半导体测试分选设备技术领域，尤其为一种缓冲力可调的Z轴下压机构，包括固定块，所述固定块上固定安装有伺服电机，所述固定块一侧固定设置有直线导轨，所述直线导轨侧面的滑块上固定安装有下压支板，本发明避免在吸附极薄IC芯片时，由于器件本身的厚度误差或设备动作异常造成行程过压，过大的冲击力导致IC芯片损坏或者内部隐裂等隐患；凸轮通过顶丝与伺服电机轴端紧固，下压杆通过角度转动实现下压杆的Z轴往复运动；下压支架通过螺钉紧固在直线导轨的滑块上；上抬复位拉簧作用于下压支板与机构固定块之间，使得凸轮与凸轮随动器高速下压过程中不会过冲脱离，始终保持接触状态。
主权项：1.一种缓冲力可调的Z轴下压机构，其特征在于：包括固定块（1），所述固定块（1）上固定安装有伺服电机（2），所述固定块（1）一侧固定设置有直线导轨（3），所述直线导轨（3）侧面的滑块上固定安装有下压支板（4），所述下压支板（4）与伺服电机（2）下方的固定块（1）之间还挂合有抬复位拉簧（5），所述伺服电机（2）输出端固定安装有下压凸轮（6），所述下压支板（4）上端固定安装有凸轮随动块（7），所述下压支板（4）内侧上方固定安装有气缸（8），所述气缸（8）伸缩端固定安装有缓冲块（9），所述缓冲块（9）远离连接气缸（8）的一端还固定安装有下压杆（10），所述下压支板（4）内侧内部下方设置有直线轴承（11），所述下压支板（4）背离直线导轨（3）连接固定块（1）的一端固定安装有限位块（12），所述气缸（8）上固定安装有下压异常检测气嘴（13），所述固定块（1）上固定安装有上抬到位传感器（14）；所述下压凸轮（6）内部开设有螺旋槽，且所述凸轮随动块（7）远离与下压支板（4）固定的一端位于螺旋槽内部，所述凸轮随动块（7）跟随螺旋槽转动的不同角度，并在抬复位拉簧（5）的作用力上下往复运动；所述气缸（8）在不工作以及不受压力作用下始终位于最大伸缩状态，此时缓冲块（9）下表面一侧也始终与限位块（12）接触；所述下压杆（10）与下压支板（4）之间通过下压凸轮（6）、凸轮随动块（7）以及抬复位拉簧（5）上下平行滑动。
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权利要求：
百度查询： 苏州思铂创半导体科技有限公司 一种缓冲力可调的Z轴下压机构
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