龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳技术大学
摘要：本发明提供一种聚合物二氧化硅异质调制臂的M‑Z光波导热光开关，该系统包括基底芯片，在基底芯片上形成有M‑Z光波导结构层，M‑Z光波导结构层包括聚合物波导以及高折射率二氧化硅波导，且两者均位于同一平面上；聚合物波导与高折射率二氧化硅波导之间采用侧向耦合的方式；聚合物波导的高度低于高折射率二氧化硅波导的高度；在M‑Z光波导结构层上旋涂有聚合物包层，在聚合物包层上电极层，电极层位于M‑Z光波导结构中聚合物波导的正上方。本发明通过侧向耦合的方式降低损耗，通过高热光系数的聚合物材料降低开关功耗，通过降低聚合物层厚度的方式降低开关时间和功耗。
主权项：1.一种聚合物二氧化硅异质调制臂的M-Z光波导热光开关，其特征在于，包括：基底芯片；在基底芯片上形成有M-Z光波导结构层，所述M-Z光波导结构层包括聚合物波导以及高折射率二氧化硅波导，且两者均位于同一平面上；其中，高折射率二氧化硅波导为刻蚀基底芯片中的高折射率二氧化硅层得到；所述聚合物波导与高折射率二氧化硅波导之间采用侧向耦合的方式；所述聚合物波导的高度低于高折射率二氧化硅波导的高度；在所述M-Z光波导结构层上旋涂有聚合物包层，在所述聚合物包层上有电极层，所述电极层位于M-Z光波导结构中聚合物波导的正上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳技术大学 一种聚合物二氧化硅异质调制臂的M-Z光波导热光开关
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号