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申请/专利权人：上海鲲游科技有限公司
摘要：本发明提供了一种基于厚度调整的光栅压印方法及衍射光波导，通过检测在基底匀胶后压印胶层在不同区域位置的匀胶厚度值，据此来分别判断压印胶层在压印前的目标匀胶厚度，并进行计算所确定的目标匀胶厚度；再通过一具有光滑表面的工作模板来压印处理后的压印胶层，以使得工作模板与基底之间的距离被控制在目标匀胶厚度，光滑表面具有预设的表面接触角，以便于去除工作模板，最后通过压印母版进行压印工艺，得到的产品在基底不同位置的压印残留胶层厚度具有较好的一致性，能够提高基底中部产品的光学性能；使得整个基底上压印所形成的衍射光波导光学性能得以提升，以这样的方式来提高整个压印工艺质量，实现光学微纳结构的转移，提高产品的合格率。
主权项：1.一种基于厚度调整的光栅压印方法，其特征在于，包括如下步骤：1提供一基底，在所述基底的表面涂覆预定厚度的压印胶，并匀胶形成压印胶层；2检测匀胶后的所述压印胶层的厚度，并判断不同区域的所述压印胶层的厚度大小；3根据步骤2所确定的不同区域的所述压印胶层的厚度，判断所述压印胶层的目标匀胶厚度；4提供一工作模板，对工作模板的任一平滑表面进行表面处理，使得该表面的表面接触角大于预设值，得到光滑表面；5以步骤4中的所述工作模板压印所述压印胶层，所述工作模板的所述光滑表面朝向所述压印胶层；并进行压印使得所述工作模板与所述基底之间的距离为步骤3中的目标匀胶厚度大小；6移开所述工作模板，并基于步骤2相同的方法检测压印后压印胶层的厚度，判断不同区域的匀胶厚度是否满足目标匀胶厚度；若是则进行下一步；否则重复步骤5，直到压印后所述压印胶层的厚度满足目标匀胶厚度；7基于预设的压印母版，压印步骤6中的所述压印胶层，所述压印母版具有待压印转移的图形化结构；待固化后，去除压印母版，得到光栅压印结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海鲲游科技有限公司 基于厚度调整的光栅压印方法及衍射光波导
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