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申请/专利权人：西默有限公司
摘要：本发明提供了一种深紫外DUV光学系统，包括：光源系统，包括：多个光学振荡器；束组合器；以及在所述光学振荡器与所述束组合器之间的束控制装置。所述束组合器被配置为接收并朝向扫描器装置引导从所述光学振荡器中的任何光学振荡器发出的光作为曝光光束，并且所述束控制装置被配置为确定所述束组合器是否从所述光学振荡器中的特定光学振荡器接收光。所述DUV光学光刻系统还包括控制系统，被耦合到所述光源系统，所述控制系统被配置为：确定在所述DUV光学系统中是否存在条件，并且基于所述存在条件的确定，在所述光学振荡器的子集中执行校准动作。
主权项：1.一种深紫外DUV光学系统，包括：光源系统，包括：多个光学振荡器；束组合器；以及束控制装置，在所述光学振荡器与所述束组合器之间，其中所述束组合器被配置为接收并朝向扫描器装置引导从所述光学振荡器中的任何光学振荡器发出的光作为曝光束，并且所述束控制装置被配置为确定所述束组合器是否从所述多个光学振荡器中的特定光学振荡器接收光；以及控制系统，耦合到所述光源系统，所述控制系统被配置为：确定所述DUV光学系统中是否存在条件；基于所述束控制装置的确定，确定处于等待状态的所述光学振荡器的子集；以及基于所述条件存在的确定，在处于所述等待状态的所述光学振荡器的所述子集中执行校准动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西默有限公司 用于多个深紫外光学振荡器的控制系统
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