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申请/专利权人：粒芯科技(厦门)股份有限公司
摘要：本实用新型涉及一种分子束外延设备用的衬底托盘，衬底托盘上设有通孔，通孔的边沿设有第一台阶面和第二台阶面，第一台阶面位于第二台阶面的内侧。通孔包括第一通孔和第二通孔，且第一通孔的孔径大于第二通孔的孔径，多个第一通孔以圆心为衬底托盘中心的圆周方向等间距布置。第二通孔设有多个，其中一第二通孔设于衬底托盘的中心，其余的第二通孔以圆心为衬底托盘中心的圆周方向等间距布置。沿圆周方向布置的第二通孔位于相邻的两第一通孔之间，且沿圆周方向布置的第二通孔中心与衬底托盘中心的距离大于第一通孔与衬底托盘中心的距离。通过设计第二通孔提高衬底托盘的使用面积，并通过降低衬底托盘的重量减少外延生长过程中的热弛豫时间。
主权项：1.一种分子束外延设备用的衬底托盘，其特征在于，所述衬底托盘上设有通孔，所述通孔的边沿设有呈阶梯状布置的第一台阶面和第二台阶面，所述第二台阶面位于所述衬底托盘表面的内侧，所述第一台阶面位于所述第二台阶面的内侧；所述通孔包括第一通孔和第二通孔，且所述第一通孔的孔径大于所述第二通孔的孔径，所述第一通孔设有多个，并以圆心为所述衬底托盘中心的圆周方向等间距布置，第二通孔设有多个，其中一所述第二通孔设于所述衬底托盘的中心，其余的所述第二通孔以圆心为所述衬底托盘中心的圆周方向等间距布置；沿圆周方向布置的所述第二通孔位于相邻的两所述第一通孔之间，且沿圆周方向布置的所述第二通孔中心与所述衬底托盘中心的距离大于所述第一通孔与所述衬底托盘中心的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 粒芯科技(厦门)股份有限公司 分子束外延设备用的衬底托盘
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