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申请/专利权人：正奇光能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种N型TOPCon半片电池的制备方法，包括以下步骤：制绒工序→硼扩散工序→高温氧化推进工序→去BSG+碱抛→PECVDLPCVD沉积poly‑Si→晶化退火工序磷扩工序→激光切片→去PSG+RCA工序→正面钝化→背面钝化→丝网印刷→光注入→激光烧结→测试分选。其中，去PSG+RCA工序的具体工艺为：切半后的硅片先经链式清洗机清洗；再用湿法专用耐腐蚀花篮承载进行碱刻蚀+后碱洗+酸洗。本发明制备方法将激光切半片工序的位置进行调整，缩短了制备工艺，节约钝化所需设备及非硅材料成本投入，即降低了电池片的制造成本。同时，本发明针对激光切面进行相应的处理，从而提高了电池效率，提升了电池组件的可靠性及封装效率。
主权项：1.一种N型TOPCon半片电池的制备方法，包括以下步骤：制绒工序→硼扩散工序→高温氧化推进工序→去BSG+碱抛→PECVDLPCVD沉积poly-Si→晶化退火工序磷扩工序→激光切片→去PSG+RCA工序→正面钝化→背面钝化→丝网印刷→光注入→激光烧结→测试分选。
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权利要求：
百度查询： 正奇光能科技有限公司 一种N型TOPCon半片电池的制备方法
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