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申请/专利权人:东芝三菱电机产业系统株式会社
摘要:本公开的目的在于提供一种能够响应性良好且准确地求出原料溶液雾的雾供给量的超声波雾化装置。本公开的超声波雾化装置101不与包括雾输出用配管1t的雾化容器1接触,而在雾化容器1的上方具有非接触型雾供给配管20。在非接触型雾供给配管20的连结用配管部23与雾输出用配管1t的上部区域A1t之间设置配管重叠空间SP12。在配管重叠空间SP12内与雾输出用配管1t及非接触型雾供给配管20分别不接触地设置泄漏防止气体供给管25。泄漏防止气体供给管25从设置在上部的气体输出口28输出雾泄漏防止用气体G2。
主权项:1.一种超声波雾化装置,其具有:原料溶液用容器,具有容纳原料溶液的内部空间,在上表面设置有雾输出用配管;超声波振子,设置于所述原料溶液用容器的下方;非接触型雾供给配管,不与包含所述雾输出用配管的所述原料溶液用容器接触,而配置于所述原料溶液用容器的上方;以及重量测定器,从下方支承所述原料溶液用容器,且测定包含所述原料溶液用容器、所述超声波振子及所述原料溶液的测定对象物的重量,通过由所述超声波振子进行的超声波振动动作,将所述原料溶液雾化而在所述内部空间内生成原料溶液雾,所述非接触型雾供给配管具有重叠配管部和所述重叠配管部以外的非重叠配管部,所述重叠配管部在与所述雾输出用配管的上部区域之间具有沿着雾输出方向的配管重叠区域,在所述重叠配管部与所述上部区域之间设置配管重叠空间,所述原料溶液雾在所述雾输出用配管及所述非接触型雾供给配管的内部沿着所述雾输出方向流动,并从所述非接触型雾供给配管输出。
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