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申请/专利权人：深圳市耀威镀膜科技有限公司

摘要：本发明公开了一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜设备，涉及镀膜领域，包括底板，所述底板的底部固定连接有支撑座，所述底板的顶部固定连接有炉体，所述底板的内壁固定连接有伺服电机一，所述伺服电机一的输出端固定连接有镀膜机构，所述镀膜机构的上固定连接有收集机构，所述炉体的内壁对称设置有抽气机构，所述底板的外表面固定连接有支撑臂，所述支撑臂的顶部固定连接有电子束装置，所述电子束装置的外表面固定连接有电子束枪头，所述炉体的外表面固定连接有外框，所述外框上设置有密封板，所述密封板的外表面固定连接有把手，所述密封板四周固定连接有插入柱，所述插入柱的外表面与外框卡接，所述密封板远离把手的一侧固定连接有磁板一。

主权项：1.一种可提高镀膜均匀度的真空镀膜设备，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的底部固定连接有支撑座（2），所述底板（1）的顶部固定连接有炉体（3），所述底板（1）的内壁固定连接有伺服电机一（5），所述伺服电机一（5）的输出端固定连接有镀膜机构（6），所述镀膜机构（6）的上固定连接有收集机构（7），所述炉体（3）的内壁对称设置有抽气机构（8），所述底板（1）的外表面固定连接有支撑臂（9），所述支撑臂（9）的顶部固定连接有电子束装置（10），所述电子束装置（10）的外表面固定连接有电子束枪头（11），所述炉体（3）的外表面固定连接有外框（4），所述外框（4）上设置有密封板（12），所述密封板（12）的外表面固定连接有把手（14），所述密封板（12）四周固定连接有插入柱（15），所述密封板（12）远离把手（14）的一侧固定连接有磁板一（13）；所述镀膜机构（6）包括转轴一（61），所述转轴一（61）的顶部固定连接有旋转机构（63），所述转轴一（61）的外表面固定连接有圆盘一（62），所述圆盘一（62）的外表面套有履带（64），所述炉体（3）的内壁固定连接有分隔板（69），所述分隔板（69）的内壁转动连接有转轴二（65），所述转轴二（65）的外表面固定连接有圆盘二（66），所述圆盘二（66）的外表面与履带（64）套接，所述转轴二（65）的顶部固定连接有放置块（67），所述放置块（67）的顶部固定连接有圆柱溅射靶（68）；所述旋转机构（63）包括底盘（631），所述底盘（631）的顶部均匀设置有卡位块（632），所述炉体（3）的顶部固定连接有保护外壳（634），所述保护外壳（634）的内壁固定连接有伺服电机二（633），所述伺服电机二（633）的输出端固定连接有丝杆（635），所述丝杆（635）的底部转动连接有电池（639），所述丝杆（635）的外表面螺纹连接有移动块（636），所述移动块（636）的内壁转动连接有支撑板一（637），所述支撑板一（637）远离移动块（636）的一端固定连接有挂物机构（638）。

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