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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
摘要：本发明提供一种脱脂装置100，其以可在适当的时期实施维护的方式进行来确保最大限度的装置运转时间，并且即便产生了意外的异常，也可进一步精度良好地确定其因素。为此而使脱脂装置100包括：加热炉1，收容处理对象物W并进行脱脂处理；测定装置2，对在脱脂处理中产生的产生气体的量或间接表示此量的值以下，将这些称为产生气体量进行测定；及信息处理装置7，基于由所述测定装置2测定出的产生气体量来算出管理信息，所述管理信息为与包含检查保养时期的管理相关的信息。
主权项：1.一种脱脂装置，其特征在于包括：加热炉，收容处理对象物并进行脱脂处理；测定装置，对在脱脂处理中产生的产生气体的量或间接表示此量的值以下，将这些称为产生气体量进行测定；及信息处理装置，基于由所述测定装置测定出的产生气体量来算出管理信息，所述管理信息为与包含检查保养时期的管理相关的信息。
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