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申请/专利权人：无锡芯光互连技术研究院有限公司
摘要：本发明涉及集成光学技术领域，公开了一种光电探测器，包括入射波导、分光器和多个锗探测器，多个锗探测器并联且均设于分光器上，每个锗探测器均包括锗吸收区，锗吸收区在垂直方向上位于分光器的上方，锗吸收区在水平方向上与分光器的一个分光点对应，锗吸收区与对应的分光点的中心的距离不大于预设值。利用分光器的分光能力，使分配到每个探测器的光强降低，让多个锗探测器拥有更短的吸收长度，吸收层内光场分布更加均匀，改善了器件非线性，同时保留了高速特性。并且使通过分光器产生的多个光信号在分光点处光耦合进入锗吸收区，提高响应率，减少独立的分光结构，将分光结构和探测器在空间上结合，减少整体的空间，有利于硅光子芯片高密度集成。
主权项：1.一种光电探测器，其特征在于，包括入射波导3、分光器1和多个锗探测器，所述入射波导3与所述分光器1连接，多个所述锗探测器均设于所述分光器1上，且多个所述锗探测器并联连接，其中，每个所述锗探测器均包括锗吸收区2，所述锗吸收区2在垂直方向上位于所述分光器1的上方，所述锗吸收区2在水平方向上与所述分光器1的一个分光点对应，所述锗吸收区2与对应的分光点的中心的水平距离不大于预设值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡芯光互连技术研究院有限公司 一种光电探测器及其制造方法
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