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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所

摘要：本发明公开了一种样品转移装置及TEM样品的制备方法，涉及微纳加工领域，该装置包括控制模块、驱动模块、移动模块、转轴、样品台、夹具台及基础夹具，基础夹具设于转轴上用于固定rowbar夹具，rowbar夹具用于固定半分铜载网以使各铜柱沿轴心方向依次排布，驱动模块驱动转轴调节至初始0度位，移动模块将第一薄片沿竖直方向从原始样品上提取并将该第一薄片转移至处于初始0度位的半分铜载网处，驱动模块驱动转轴调节至使第二薄片的待加工面与芯片平行的90度位，移动模块将第二薄片转移至芯片上的指定位置以便焊接。该方案可靠地实现了样品平行焊接至芯片的指定位置，且根据实际需求同样可灵活适用于芯片与样品间多种角度焊接。

主权项：1.一种样品转移装置，其特征在于，应用于FIB腔体，所述样品转移装置包括设于所述FIB腔体外的控制模块2以及设于所述FIB腔体内的驱动模块3、移动模块、转轴4、样品台5、夹具台6及基础夹具7；所述样品台5用于放置原始样品11，所述夹具台6用于放置芯片8；所述驱动模块3、所述样品台5及所述夹具台6均设于所述FIB腔体内的基础圆盘1上，所述驱动模块3还分别与所述控制模块2及所述转轴4连接；所述基础夹具7设于所述转轴4上，用于固定rowbar夹具72；所述rowbar夹具72用于固定半分铜载网71，所述半分铜载网71包括N个用于载物的铜柱且各所述铜柱沿所述转轴4的轴心方向依次排布，N为不小于1的整数；所述移动模块用于将所述原始样品11被刻蚀后得到的第一薄片10沿与所述轴心方向垂直的竖直方向从所述原始样品11上提取出来，并将待加工面101呈竖直方向的第一薄片10转移至处于初始0度位的转轴4上的任一个半分铜载网71处，以便所述FIB腔体内的气体喷射模块将所述第一薄片10的一侧边缘焊接至所述半分铜载网71上空闲的铜柱的载物侧7111；还用于将由所述第一薄片10经过减薄得到且待加工面与所述芯片8平行的第二薄片转移至所述芯片8上的指定位置；所述驱动模块3用于根据所述控制模块2下发的第一调节指令驱动所述转轴4动作而使所述转轴4调节至使各所述铜柱的高度方向与水平放置在所述夹具台6上的芯片8垂直的初始0度位；根据所述控制模块2下发的第二调节指令驱动所述转轴4动作而使所述转轴4调节至使所述第二薄片的待加工面与所述芯片8平行的90度位。

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权利要求：

百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种样品转移装置及TEM样品的制备方法