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申请/专利权人：深圳飞骧科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种滤波器及其制备方法，其中，方法包括步骤：S1、在压电晶圆的其中一侧制备声学层；S2、在压电晶圆靠近声学层的一侧沉积形成介质层；S3、对介质层进行磨平；S4、采用光刻胶对低频功能区或高频功能区所对应的磨平后的介质层进行第一次粘贴保护；S5、对未进行第一次粘贴保护的功能区所对应的介质层进行第一次修频；S6、采用光刻胶对进行第一次修频后的功能区所对应的介质层进行第二次粘贴保护；S7、对未进行第二次粘贴保护的功能区所对应的介质层进行第二次修频。通过上述方法制备得到的滤波器可以实现不同介质层的厚度需求，从而使其每一个频段都能达到更好性能。
主权项：1.一种滤波器的制备方法，所述滤波器的功能区包括低频功能区和高频功能区，其特征在于，所述滤波器的制备方法包括以下步骤：步骤S1、在压电晶圆的其中一侧制备声学层；步骤S2、在所述压电晶圆靠近所述声学层的一侧沉积形成介质层，并使所述介质层完全覆盖所述声学层；步骤S3、对所述介质层进行磨平；步骤S4、采用光刻胶对低频功能区或高频功能区所对应的磨平后的所述介质层进行第一次粘贴保护；步骤S5、对未进行第一次粘贴保护的功能区所对应的所述介质层进行第一次修频；步骤S6、采用光刻胶对进行第一次修频后的功能区所对应的所述介质层进行第二次粘贴保护；步骤S7、对未进行第二次粘贴保护的功能区所对应的所述介质层进行第二次修频。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳飞骧科技股份有限公司 一种滤波器及其制备方法
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