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申请/专利权人：杭州利珀科技有限公司
摘要：本发明公开一种硅片崩边缺陷视觉检测装置、方法及系统，属于硅片检测分选领域。所述硅片崩边缺陷视觉检测装置包括：第一线性光源、第一线性棱镜、第二线性棱镜和机器视觉相机。所述第一线性光源的出光通过所述第一线性棱镜镜面反射到所述被测硅片的被测端面，再通过所述被测硅片的被测端面镜面反射到所述第二线性棱镜，最后通过所述第二线性棱镜镜面反射到所述机器视觉相机。本发明的有益效果在于：通过所述机器视觉相机能够采样到关于所述被测硅片的被测端面的检测图像，进而根据所述检测图像可判断所述被测硅片的被测端面是否存在崩边缺陷。
主权项：1.一种硅片崩边缺陷视觉检测装置，用于检测被测硅片的被测端面是否存在崩边缺陷，其特征在于，包括：第一线性光源、第一线性棱镜、第二线性棱镜和机器视觉相机；所述第一线性光源在所述第一线性棱镜的入射侧，而所述被测硅片的被测端面在所述第一线性棱镜的出射侧；所述被测硅片的被测端面在所述第二线性棱镜的入射侧，而所述机器视觉相机在所述第二线性棱镜的出射侧；所述第一线性光源相对于所述第一线性棱镜，所述第一线性光源的出光通过所述第一线性棱镜镜面反射到所述被测硅片的被测端面，再通过所述被测硅片的被测端面镜面反射到所述第二线性棱镜，最后通过所述第二线性棱镜镜面反射到所述机器视觉相机，由此所述机器视觉相机能够采样到关于所述被测硅片的被测端面的检测图像。
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