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申请/专利权人：湖南长宇科技发展有限公司;湖南长扬新能源科技有限公司

摘要：本发明属于石墨基盘制备技术领域，尤其是一种外延生长基盘用高均质性特种石墨材料的制备方法，针对现有的石墨均质性不足，热膨胀系数不稳定，热导率偏低的问题，现提出如下方案，主要原料为针状石油焦、针状沥青焦、改性人造石墨、改质沥青；所述针状石油焦、针状沥青焦、改性人造石墨的质量比为5:4:1~8:1:1；本发明中保持石墨本身的各项指标的同时，还能有效增强特殊的单项指标，包覆颗粒在组成块材的单元中更均匀，结合能力更强，能够保持产品制备的稳定性，还能有效控制制备成本，使用的原料价低易得，性质稳定，原材料预处理工艺简单易操作，可以通过传统设备完成性能优异的外延生长基盘用高均质性石墨材料的制备。

主权项：1.一种外延生长基盘用高均质性特种石墨材料的制备方法，其特征在于，石墨材料的主要原料为针状石油焦、针状沥青焦、高比表改性人造石墨、改质沥青；所述针状石油焦、针状沥青焦、高比表改性人造石墨的质量比为5:4:1~8:1:1；所述改质沥青的添加量占原料总质量的22~27%，石墨材料的制备方法包括以下步骤，步骤一，将粉末状人造石墨在低压含氧气氛预处理获得高比表改性人造石墨；步骤二，分别将针状石油焦、针状沥青焦粉碎梯度筛分后与高比表改性人造石墨充分混合获得复合焦粉；步骤三，将复合焦粉与溶解后的改质沥青溶液混合形成包覆浆料，包覆浆料通过喷雾装置依次经过负压加热、液氮冷却、机械解聚、混合均匀步骤获得包覆沥青的复合焦粉；步骤四，将步骤三得到的混合料静置后进行分段等静压成型，脱模后得到生坯样品；步骤五，将步骤四得到的生坯样品静置后进行均质化炭化处理；步骤六，将步骤五均质化炭化处理的样品进行石墨化、纯化处理，即得到高均质性特种石墨材料；步骤七，将步骤六中的高均质性特种石墨材料机械加工成MOCVD的石墨基盘或基座，再进行二次纯化以达到半导体用石墨基座的要求，在步骤一中，将8~20μm范围的人造石墨放入石英坩埚中搅拌；让坩埚置于260~450℃、0.02~0.08Mpa的环境中反应1~8h；冷却后从坩埚取出，获得高比表改性人造石墨，在步骤二中，分别将针状石油焦和针状沥青焦进行粉碎，粒度区间为8~50μm；再分别将粉碎后的针状石油焦和针状沥青焦的焦粉依次过30目~500目的超声波环摇筛网；最后将筛分后的针状石油焦和针状沥青焦的焦粉与高比表改性人造石墨以5:4:1~8:1:1进行VC混合，获得复合焦粉，在步骤三中，将改质沥青置于THF溶剂中，改质沥青与THF溶剂的质量比为1∶8，混合均匀后，置于温度为室温~70℃的喷雾装置中进行分散，然后在0.5~2Mpa的压力下送入梯度升温的负压加热仓，温度范围100℃~240℃；经过缓冲区域后进入液氮保温的液氮骤冷仓、温度在-10~-50℃；接着送入机械解聚仓用机械搅拌装置均匀搅拌，最后进行VC混合从而获得包覆沥青的复合焦粉。

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