买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：浙江大学;杭州利珀科技有限公司

摘要：本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法，包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块；泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面；探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑，经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收；接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理；光谱共焦位移传感器返回实时位置，通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件，三轴位移台调整扫描对焦位置，扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明，可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。

主权项：1.一种大口径光学元件光热特性检测装置，其特征在于，包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块；所述的泵浦模块包括泵浦激光光源1、斩波器2、第一透镜镜组3以及光阱11；其中，泵浦激光光源1出射的连续激光通过斩波器2调制后经过第一透镜镜组3聚焦到待测光学元件10的表面形成泵浦聚焦光斑，其穿过待测光学元件10的透射光由光阱11吸收；所述的探测模块包括探测激光光源4、第二透镜镜组5、滤光片6、针孔7、光电探测器8以及锁相放大器9；其中，探测激光光源4出射的连续激光斜入射通过第二透镜镜组5后照射在待测光学元件10表面，其光斑完全覆盖泵浦聚焦光斑；探测光经待测光学元件10反射，依次经过滤光片6和针孔7后被光电探测器8收集，并经过锁相放大器9提取后发送至计算机进行处理；所述的调平对焦模块包括X轴位移台24、Y轴位移台25、Z轴对焦位移台26、俯仰偏摆位移台27以及三个光谱共焦位移传感器；其中，待测光学元件10经夹具固定后设置在Z轴对焦位移台26上，Z轴对焦位移台26固定在俯仰偏摆位移台27上，俯仰偏摆位移台27设置在两个Y轴位移台25之间构成龙门式结构，Y轴位移台25设置在X轴位移台24上；三台光谱共焦位移传感器呈等腰三角形安装在光学平台上；其中，第二光谱共焦位移传感器21与第三光谱共焦位移传感器22的连线平行于X轴，且与泵浦激光中心、探测激光中心处在同一高度；第一光谱共焦位移传感器23与地面的垂线垂直且等分前第二光谱共焦位移传感器21与第三光谱共焦位移传感器22的连线；泵浦激光光源1照射在待测光学元件10表面的聚焦光斑位置与探测激光光源4照射在待测光学元件10表面的探测光斑位置同心，且工作距在三个光谱共焦位移传感器量程中心。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 杭州利珀科技有限公司 一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法