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申请/专利权人：广东鼎泰高科技术股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种靶材机构，包括靶材、连接件、冷却管件以及永磁体，靶材具有与弧斑接触的靶面端以及与靶面端相对的连接端，连接端向靶材的内部开设有冷却凹槽，连接件包括主体部以及由主体部向下凹陷的凹坑部，靶材安装于连接件的一侧面上并使得凹坑部嵌设于冷却凹槽内，连接件的另一侧面与冷却管件之间形成冷却回路以对靶材进行冷却，永磁体位于凹坑部所围成的第一空间内。本实用新型通过在靶材上设置冷却凹槽，并配合将连接件设置有凹坑部，从而可以将冷却回路引入到靶材的内部，提高靶材的冷却效果，有效减少跳靶，降低大液滴的产生，同时，通过永磁体改变靶材周围磁场分布从而将弧斑的运动尽可能的束缚在设计的磁场中稳定的烧蚀。
主权项：1.一种靶材机构，其特征在于，包括靶材、连接件、冷却管件以及永磁体，所述靶材具有与弧斑接触的靶面端以及与所述靶面端相对的连接端，所述连接端向所述靶材的内部开设有冷却凹槽，所述连接件包括主体部以及由所述主体部向下凹陷的凹坑部，所述靶材安装于所述连接件的一侧面上并使得所述凹坑部嵌设于所述冷却凹槽内，所述连接件的另一侧面与所述冷却管件之间形成冷却回路以对所述靶材进行冷却，所述永磁体位于所述凹坑部所围成的第一空间内。
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