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申请/专利权人：武汉敢为科技有限公司
摘要：本发明提供了一种基于MEMS自动调节的腔衰荡系统及气体测量方法，系统包括：光路反馈控制系统和衰荡信号接受系统；所述光路反馈控制系统用于实现激光线宽压窄，并将激光出射波长与谐振腔的谐振频率锁定；出射光由衰荡信号接受系统接受，并通过MEMS与PZT组合调节，实现光路的稳定。本发明相比目前的固定光学结构的光腔衰荡系统，该系统具有更高的可靠性和稳定性，同时可调光路使得这个光路系统具有更高的抗外界干扰能力。
主权项：1.一种基于MEMS自动调节的腔衰荡系统，其特征在于，包括：光路反馈控制系统和衰荡信号接受系统；所述光路反馈控制系统用于实现激光线宽压窄，并将激光出射波长与谐振腔的谐振频率锁定；出射光由衰荡信号接受系统接受，并通过MEMS与PZT组合调节，实现光路的稳定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉敢为科技有限公司 一种基于MEMS自动调节的腔衰荡系统及气体测量方法
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