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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种支撑件，该支撑件用于在夹持器的制造期间支撑部分的或完全的夹持器，其中该支撑件包括位于顶表面上的升高的柔性元件，该柔性元件被配置为由于作用在柔性元件上的气体压差而变形，以在夹持器和支撑件之间的空间与夹持器外部的空间之间形成气体流动限制。
主权项：1.一种支撑件，所述支撑件用于在夹持器的制造期间支撑部分的或完全的夹持器，其中所述支撑件包括位于顶表面上的升高的柔性元件，所述柔性元件被配置为由于作用在所述柔性元件上的气体压差而变形，以在所述夹持器和所述支撑件之间的空间与所述夹持器外部的空间之间形成气体流动限制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 夹持器
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