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基于仿生刚柔耦合的全向磁感知的磁传感器及其制备方法 

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申请/专利权人:吉林大学

摘要:本发明公开了一种基于仿生刚柔耦合的全向磁感知的磁传感器及其制备方法,磁传感器包括:刚性衬底、刚性轴、刚性环、至少两个柔性磁感应片、至少一个第一应力传感单元以及至少两个第二应力传感单元;至少两个第二应力传感单元中存在两个不平行的第二应力传感单元。当外界磁场发生变化时,柔性磁感应片发生形变,第一应力传感元件和第二应力传感元件可以感知到磁场变化,由于刚柔耦合的结构,可以实现对微弱磁场信号的放大。刚性衬底上第一应力传感单元输出结果是可以独立计算的法向力;对刚性环的至少两个第二应力传感单元输出结果进行三角函数计算,即可以利用该应力传感阵列得出当前时刻磁场的强度和倾角变化,从而实现三维全向磁感知。

主权项:1.一种基于仿生刚柔耦合的全向磁感知的磁传感器,其特征在于:包括:刚性衬底;刚性轴和刚性环,均设置于所述刚性衬底,所述刚性轴位于所述刚性环内;至少两个柔性磁感应片,两端分别连接所述刚性轴和所述刚性环;至少一个第一应力传感单元,分别位于相应柔性磁感应片和所述刚性衬底之间;至少两个第二应力传感单元,位于相应柔性磁感应片和所述刚性环之间;其中,所述至少两个第二应力传感单元中存在两个不平行的第二应力传感单元。

全文数据:

权利要求:

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