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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：光电转换设备、光电转换系统和移动体。在第一基板和第二基板利用布置在各个基板上的结合电极接合的堆叠型光电转换设备中，布置在第一基板上的第一氮化硅膜和布置在第二基板上的第二氮化硅膜的压缩应力不同。
主权项：1.一种光电转换设备，包括：第一基板；和第二基板，其中，在所述第一基板和所述第二基板之间布置第一配线结构、第一氮化硅膜、第一绝缘层和第一结合电极；其中，所述第一结合电极的底部和在所述第一配线结构所包括的配线层中最接近所述第一结合电极的底部的配线层利用第一结合通路电连接，其中，在所述第一结合电极和所述第二基板之间布置第二配线结构、第二氮化硅膜、第二绝缘层和第二结合电极，其中，所述第二结合电极的底部和在所述第二配线结构所包括的配线层中最接近所述第二结合电极的底部的配线层利用第二结合通路电连接，其中，所述第一结合电极与所述第二结合电极在接合面上接合，并且所述第一绝缘层与所述第二绝缘层在所述接合面上接合，以及其中，所述第一氮化硅膜布置在所述第一配线结构与所述接合面之间，所述第二氮化硅膜布置在所述第二配线结构与所述接合面之间，并且所述第一氮化硅膜与所述第二氮化硅膜的压缩应力不同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 光电转换设备、光电转换系统和移动体
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