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光电器件及其制备方法 

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申请/专利权人:中国科学院半导体研究所

摘要:本发明公开了一种光电器件,包括:衬底,衬底为P型重掺杂或N型重掺杂的Ge金属;绝缘层,形成在衬底一侧的部分表面上;GeSe二维材料层,自衬底的部分表面延伸至绝缘层上,GeSe二维材料层包括至少一片GeSe薄膜,配置为响应于光而产生光生载流子;电极,电极包括至少一组源极和漏极,配置为接收光生载流子;至少一组源极和漏极分别形成在每片GeSe薄膜上和衬底的与GeSe二维材料层相反的一侧上;其中,衬底与GeSe二维材料层形成二维三维异质结。本发明还公开了一种上述光电器件的制备方法。

主权项:1.一种光电器件,其特征在于,包括:衬底(1),所述衬底(1)为P型重掺杂或N型重掺杂的Ge;绝缘层(2),形成在所述衬底(1)一侧的部分表面上;GeSe二维材料层(3),自所述衬底(1)的部分表面延伸至所述绝缘层(2)上,所述GeSe二维材料层(3)包括至少一片GeSe薄膜,配置为响应于光而产生光生载流子;电极,所述电极包括至少一组源极(4)和漏极(5),配置为接收所述光生载流子;所述至少一组源极(4)和漏极(5)分别形成在每片所述GeSe薄膜上和所述衬底(1)的与所述GeSe二维材料层(3)相反的一侧上;其中,所述GeSe二维材料层(3)与三维的所述衬底(1)形成二维-三维异质结。

全文数据:

权利要求:

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