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申请/专利权人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
摘要：提供了一种MEMS器件，MEMS器件包括层堆叠，层堆叠具有形成在第一层与第三层之间的至少一个第二层。在第二层中形成至少一个第一腔。MEMS器件还包括可横向偏转元件，可横向偏转元件具有自由端部以及连接到第一腔的侧壁的端部。此外，MEMS器件包括无源元件，无源元件刚性地拴系至可横向偏转元件的自由端部，以跟随可横向偏转元件的移动。可横向偏转元件和无源元件将第一腔分成第一子腔和第二子腔。第一子腔经由至少一个第一开口与MEMS器件的环境流体接触。此外，第二子腔经由至少一个第二开口与MEMS器件的环境流体接触。至少一个第一开口形成在第一层和第三层的、与至少一个第二开口不同的层中。
主权项：1.一种MEMS器件，包括：层堆叠，所述层堆叠具有形成在第一层与第三层之间的至少一个第二层，其中，在所述第二层中形成至少一个第一腔；可横向偏转元件，所述可横向偏转元件具有自由端部和连接至所述第一腔的侧壁的端部；以及无源元件，所述无源元件刚性地连接至所述可横向偏转元件的自由端部，以跟随所述可横向偏转元件的移动；其中，所述可横向偏转元件和所述无源元件将所述第一腔分成第一子腔和第二子腔，其中，所述第一子腔经由至少一个第一开口与所述MEMS器件的环境流体接触，其中，所述第二子腔经由至少一个第二开口与所述MEMS器件的所述环境流体接触，以及其中，所述至少一个第一开口形成在所述第一层和所述第三层中的、与所述至少一个第二开口不同的另一个层中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 MEMS器件、包括MEMS器件的组件以及用于操作MEMS器件的方法
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