龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种MEMS压电谐振器的频率调整方法，该MEMS压电谐振器的频率调整方法包括提供一半导体结构，半导体结构包括由下至上依次层叠设置的衬底、绝缘层、器件层、电极层、压电层和频率调整层；在半导体结构的表面形成图案化的第一掩膜层，第一掩膜层具有暴露频率调整层的第一区域的第一蚀刻窗；通过第一蚀刻窗对频率调整层进行蚀刻，以调整频率；去除第一掩膜层；在半导体结构的表面形成图案化的第二掩膜层，第二掩膜层具有暴露频率调整层的第二区域的第二蚀刻窗；通过第二蚀刻窗对频率调整层进行蚀刻，以调整频率温度系数。本方案可以通避免调频导致的TCF劣化。
主权项：1.一种MEMS压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，包括：提供一半导体结构，所述半导体结构包括由下至上依次层叠设置的衬底、绝缘层、器件层、电极层、压电层和频率调整层；在所述半导体结构的表面形成图案化的第一掩膜层，所述第一掩膜层具有暴露所述频率调整层的第一区域的第一蚀刻窗；通过所述第一蚀刻窗对所述频率调整层进行蚀刻，以调整频率；去除所述第一掩膜层；在所述半导体结构的表面形成图案化的第二掩膜层，所述第二掩膜层具有暴露所述频率调整层的第二区域的第二蚀刻窗；通过所述第二蚀刻窗对所述频率调整层进行蚀刻，以调整频率温度系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS压电谐振器的频率调整方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号