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申请/专利权人：武汉敏声新技术有限公司
摘要：本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器制备技术领域。该薄膜体声波谐振器包括：基底层、依次层叠设置在基底层上的底电极层、压电层和顶电极层，基底层内设有第一空腔、环绕第一空腔的第一保护墙和第二保护墙，第二保护墙位于第一保护墙上方，第二保护墙由第一保护墙向靠近第一空腔的方向倾斜。该薄膜体声波谐振器通过在基底层内设置第一保护墙和倾斜的第二保护墙，能够防止第一空腔释放过程中腐蚀气体或者腐蚀液由保护墙上方横向泄露，避免因保护墙无法阻挡而造成的横向腐蚀损坏器件。
主权项：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：基底层、依次层叠设置在所述基底层上的底电极层、压电层和顶电极层，所述基底层内设有第一空腔、环绕所述第一空腔的第一保护墙和第二保护墙，所述第二保护墙位于所述第一保护墙上方，所述第二保护墙由所述第一保护墙向靠近所述第一空腔的方向倾斜；所述底电极层与所述压电层之间围合形成第二空腔，所述第二空腔位于所述第二保护墙上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉敏声新技术有限公司 一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
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