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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种MEMS执行器100，所述MEMS执行器包括在主延伸平面中面状地构造的、能够弹性变形的至少一个弹簧元件10和至少一个平面的驱动器20。所述平面的驱动器20设立为用于，所述主延伸平面中横向地压缩所述弹簧元件10，其中，所述弹簧元件20这样设立，使得在所述主延伸平面中的横向压缩1100引起所述弹簧元件的垂直于所述主延伸平面的偏移1200，所述偏移相对于所述横向压缩1100增大。
主权项：1.MEMS执行器100，所述MEMS执行器包括：-在主延伸平面中面状地构造的、能够弹性变形的至少一个弹簧元件10，-至少一个平面的驱动器20，所述平面的驱动器设立为用于，在所述主延伸平面中横向地压缩所述弹簧元件10，其中，所述弹簧元件20设立为，使得在所述主延伸平面中的横向压缩1100引起所述弹簧元件的垂直于所述主延伸平面的偏移1200，所述偏移相对于所述横向压缩1100增大。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 MEMS执行器和用于运行MEMS执行器的方法
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