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申请/专利权人：大连芯材薄膜技术有限公司
摘要：一种双层反向自发极化纤锌矿薄膜并联式压电传感器及制备方法，包括器件衬底；沉积在器件衬底上的绝缘层薄膜；沉积在绝缘层薄膜上的第一电极层薄膜；沉积在第一电极层薄膜上的第一压电层薄膜；沉积在第一压电层薄膜上的第二电极层薄膜；沉积在第二电极层薄膜上的第二压电层薄膜；沉积在第二压电层薄膜上的第三电极层薄膜；沉积在第三电极层薄膜上的保护层薄膜；用于将第一电极层薄膜和第三电极层薄膜导通的桥接引线。第一和第二压电层薄膜的初始极化方向相反。本发明无序额外增加预极化步骤，结构简单，制备容易，有利于集成，成本低的优点；压电薄膜叠层设置的结构可以在相同的外部激励下得到更强的输出信号，显著提高了压电薄膜传感器的灵敏度。
主权项：1.一种双层反向自发极化纤锌矿薄膜并联式压电传感器，其特征在于，所述的双层反向自发极化纤锌矿薄膜并联式压电传感器包括：器件衬底；沉积在所述器件衬底上的绝缘层薄膜；沉积在所述绝缘层薄膜上的第一电极层薄膜；沉积在所述第一电极层薄膜上的第一压电层薄膜；沉积在所述第一压电层薄膜上的第二电极层薄膜；沉积在所述第二电极层薄膜上的第二压电层薄膜；沉积在所述第二压电层薄膜上的第三电极层薄膜；沉积在所述第三电极层薄膜上的保护层薄膜；桥接引线，位于第一电极层薄膜、第三电极层薄膜外部，用于将第一电极层薄膜和第三电极层薄膜导通，以使两层压电层薄膜呈并联设置；上述各结构最终形成三层电极层中间夹插两层压电层的叠层结构，其中第一压电层、第二压电层的极化方向相反，第二电极层作为一个输出端，第一电极层和第三电极层并联后作为另一个输出端，共有两个输出端。
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