龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本申请涉及一种抛光垫修整器及其控制方法、化学机械抛光设备。其中，抛光垫修整器，包括：修整头，修整头包括底座部与第一结合部，第一结合部位于底座部的一侧；修整盘，修整盘包括第二结合部，第二结合部用于与第一结合部插接，第一结合部与第二结合部中的其中一者为顶针部，另一者为安装孔；检测装置，检测装置用于检测顶针部与安装孔的对准情况，以在顶针部与安装孔的对准时，将顶针部插置于安装孔中；吸附装置，吸附装置用于吸附修整盘。本申请实施例可以有效降低安装修整盘时对修整头和或修整盘的损伤。
主权项：1.一种抛光垫修整器，其特征在于，包括：修整头，所述修整头包括底座部与第一结合部，所述第一结合部位于所述底座部的一侧；修整盘，所述修整盘包括第二结合部，所述第二结合部用于与所述第一结合部插接，所述第一结合部与所述第二结合部中的其中一者为顶针部，另一者为安装孔；检测装置，所述检测装置用于检测所述顶针部与所述安装孔的对准情况，以在所述顶针部与所述安装孔的对准时，将所述顶针部插置于所述安装孔中；吸附装置，所述吸附装置用于吸附所述修整盘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 抛光垫修整器及其控制方法、化学机械抛光设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号