龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明涉及用于将晶片等基板按压于研磨带的研磨头。另外，本发明涉及用于通过这样的研磨头研磨基板的研磨装置。研磨头10具备：按压机构12，将研磨带2按压于基板W；及带钩40，限制研磨带2的缘部向着基板W的方向移动，带钩40具有与研磨带2的缘部的研磨面相对的带定位面47。
主权项：1.一种研磨头，用于研磨基板，其特征在于，具备：按压机构，该按压机构将研磨带按压于基板；以及带钩，该带钩限制所述研磨带的缘部向朝向所述基板的方向移动，所述带钩具有带定位面，该带定位面与所述研磨带的缘部的研磨面相对。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号