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申请/专利权人：浙江光特科技有限公司
摘要：本发明提供一种研磨装置，包括研磨机构、定位机构、真空泵、夹持机构、陶瓷盘、真空罩，陶瓷盘上开设有若干通孔，陶瓷盘上设有若干定位柱，真空罩上部开孔，孔内安装密封圈，密封圈中插入有连接管，连接管上设有调节阀。相应地，本发明还提供一种所述研磨装置的研磨方法。本发明可以提高研磨的磷化铟晶圆片的均匀性，同时可以加快研磨后从陶瓷盘上取下磷化铟晶圆片的速度。
主权项：1.一种研磨装置，其特征在于：包括研磨机构、定位机构、真空泵、夹持机构、陶瓷盘、真空罩，所述陶瓷盘上开设有若干通孔，所述陶瓷盘上设有若干定位柱，所述真空罩上部开孔，所述真空罩上的孔内安装密封圈，所述密封圈中插入有连接管，所述连接管上设有调节阀，所述连接管上部设置抽真空管接头，所述真空罩下部设有一圈密封环，所述真空泵上连接有抽真空管，所述抽真空管另一端可插入抽真空管接头中，所述夹持机构包括支撑台、夹持件，所述支撑台上开设有容纳陶瓷盘的缺口，所述夹持件设置在支撑台上用于固定陶瓷盘，陶瓷盘对应贴附磷化铟晶圆片的位置涂抹一层蜡，磷化铟晶圆片贴附于陶瓷盘上的涂蜡处，所述定位机构包括定位环，所述定位环下部设有若干陶瓷块；所述研磨机构包括机架和供液罐，所述机架上部中间位置开设有凹槽，所述机架内部设有驱动电机，所述驱动电机的输出端驱动连接有旋转轴，所述旋转轴上部连接有研磨盘，所述研磨盘表面上设有数道导流槽，所述凹槽底部为由外至内向上倾斜设置，所述机架上部位于凹槽左右两侧的位置均连接有支撑柱，所述支撑柱上部设有支撑块，所述支撑块远离支撑柱的一侧连接有弧形板，所述弧形板上设有两个调节孔，所述调节孔中安装有定位轮，所述机架上位于凹槽后侧的位置设有供液泵，所述供液泵和供液罐之间连接有抽液管，所述供液泵远离抽液管的一侧连接有两个供液管，所述供液管前端连接有调节管，所述调节管与供液管的连接处设置有流量阀，所述供液罐上部设置有搅拌电机，所述搅拌电机的输出端连接有搅拌轴，所述搅拌轴外周设有若干搅拌叶。
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权利要求：
百度查询： 浙江光特科技有限公司 一种研磨装置和研磨方法
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