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申请/专利权人：北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)

摘要：本发明公开了一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，包括：团簇离子加速装置，所述团簇离子加速装置包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2‑5keV；第一飞行通道，所述第一飞行通道与团簇离子加速装置的输出端连通，加速后的团簇离子在第一飞行通道内自由飞行。本发明通过设置团簇离子加速装置，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2‑5keV，保证了团簇离子的速度差异较小。

主权项：1.一种用于团簇束流综合沉积的反射式TOF装置，其特征在于，包括：团簇离子加速装置1，所述团簇离子加速装置1包括第一加速电极和第二加速电极，其中第一加速电极对团簇离子施加脉冲高压并作起始信号A，使团簇离子向第一反射装置偏转并被初加速，其中第二加速电极使团簇离子被加速2-5keV；第一飞行通道2，所述第一飞行通道2与团簇离子加速装置1的输出端连通，加速后的团簇离子在第一飞行通道2内自由飞行；第一反射装置3，所述第一反射装置3位于第一飞行通道2内用于反射团簇离子，所述第一反射装置3与第一飞行通道2的轴线夹角为10-90°；第二飞行通道4，所述第二飞行通道4与第一飞行通道2连通，且第二飞行通道4位于第一反射装置3的反射线处轴向设置，第一反射装置3反射后的团簇离子在第二飞行通道4内自由飞行；第一接收器5，探测团簇离子并给出到达信号B1；时间数字转换器6,用于记录起始信号An与到达信号Bn之间的时间差,n0，计算出团簇的质量；所述第一飞行通道2内设置有第二反射装置10，所述第二反射装置10位于偏转电极12偏移的选择性离子运动路径处，所述第二反射装置10与第一飞行通道2的轴线夹角为10-90°；所述第一飞行通道2内设置有第三飞行通道13，所述第三飞行通道13的轴线处设置有第二接收器7，所述第二接收器7探测选择性离子并给出到达信号B2，所述第三飞行通道13的轴线与第二反射装置10的反射线重合；所述第三飞行通道13内设置有伸缩通道8，所述伸缩通道8连接有驱动其伸缩运动的调节机构9。

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权利要求：

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