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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明涉及一种锅型靶材的焊接方法，焊接方法包括：将锅型靶材和支撑件采用电子束进行焊接，焊接中材质熔点高的焊接面设置有斜面；斜面的竖直长度为4‑7mm；斜面的高度为0.2‑0.5mm；电子束焊接包括第一焊接、第二焊接、第三焊接和第四焊接；第一焊接为对非斜面的焊接面进行焊接；第二焊接为对距离斜面0.4‑0.8mm的端面进行焊接；第三焊接为对距离斜面0.6‑1.2mm的端面进行焊接；第四焊接为对锅型靶材和支撑件间的缝隙进行焊接。通过采用特定的焊接结构和焊接过程相配合实现不同材质的靶材和支撑件即法兰的高效，高强度焊接，解决了目前共熔性较差的材料间焊接过程中存在的脱焊或焊接结合率不足的问题。
主权项：1.一种锅型靶材的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：将锅型靶材和支撑件采用电子束进行焊接；所述锅型靶材和所述支撑件的材质不相同；所述焊接中材质熔点高的焊接面设置有斜面；所述斜面的竖直长度为4-7mm；所述斜面的竖直长度是以支撑件开口所在平面为基准；所述斜面的高度为0.2-0.5mm；所述斜面的高度是以焊接面为基准；所述电子束焊接包括第一焊接、第二焊接、第三焊接和第四焊接；所述第一焊接为对非斜面的焊接面进行焊接；所述第二焊接为对距离所述斜面0.4-0.8mm的端面进行焊接；所述第三焊接为对距离所述斜面0.6-1.2mm的端面进行焊接；所述端面为锅型靶材侧壁的顶端所在的水平表面；所述距离指水平距离或垂直距离；所述第四焊接为对所述锅型靶材和所述支撑件间的缝隙进行焊接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种锅型靶材的焊接方法
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