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申请/专利权人：安集微电子科技(上海)股份有限公司
摘要：本发明提供一种球形碳酸铈及一种氧化铈的合成方法，包括将铈源和沉淀剂分别溶于水中，制成铈源溶液和沉淀剂溶液；使用惰性气体分别对所述铈源溶液和所述沉淀剂溶液进行鼓泡处理；将鼓泡处理后的沉淀剂溶液添加至鼓泡处理后的铈源溶液中混合，形成反应液；在惰性气体环境下搅拌所述反应液，反应液进行沉淀反应，反应结束后将所述反应液自然冷却至室温；过滤所述反应液，得到球形碳酸铈。将所得球形碳酸铈干燥、焙烧后得到氧化铈。所得氧化铈颗粒经分散处理后可应用于CMP抛光，显示出良好的CMP抛光特性。
主权项：1.一种球形碳酸铈的合成方法，包括，1将铈源和沉淀剂分别溶于水中，制成铈源溶液和沉淀剂溶液，所述沉淀剂选自碳酸铵、碳酸氢铵中的一种或多种；2使用惰性气体分别对所述铈源溶液和所述沉淀剂溶液进行鼓泡处理，所述惰性气体为氮气，对所述铈源溶液和所述沉淀剂溶液进行鼓泡处理1小时以上；3将鼓泡处理后的沉淀剂溶液添加至鼓泡处理后的铈源溶液中混合，混合加料的时间为10-120分钟，形成反应液，所述铈源与沉淀剂的摩尔比为1：2～1：5，所述铈源溶液的摩尔浓度为0.1～1.0M，所述沉淀剂溶液的摩尔浓度为0.1～3.0M；4在惰性气体环境下搅拌所述反应液，反应液进行沉淀反应，反应结束后将所述反应液自然冷却至室温，所述反应液进行沉淀反应的反应时间为2～4小时；所述反应液进行沉淀反应的反应温度为85～100℃；5过滤所述反应液，得到球形碳酸铈。
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权利要求：
百度查询： 安集微电子科技(上海)股份有限公司 一种球形碳酸铈及一种氧化铈的合成方法
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