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申请/专利权人：福建汉芯科技有限公司

摘要：本发明公开了一种电子级氢氟酸的氧化反应方法，包括以下步骤：从多级管式反应器的第一级管式反应器输入口输入氢氟酸，再从多级管式反应器的最后一级管式反应器输出口输出氧化后氢氟酸，所述多级管式反应器内设置有氧化剂；杂质含量检测器检测氧化后氢氟酸中杂质含量是否合格；若氧化后氢氟酸中杂质含量检测的结果是合格，则将氧化后氢氟酸进行超净过滤后再进行包装，形成电子级氢氟酸；否则，把氧化后的氢氟酸进行再次氧化。本发明还公开了一种实现电子级氢氟酸的氧化反应方法的氧化反应装置，包括：多级管式反应器、杂质含量检测器和氢氟酸分流器。本发明具有使得氢氟酸氧化反应从间歇式变成连续式和提高了电子级氢氟酸的质量等优点。

主权项：1.一种电子级氢氟酸的氧化反应方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、从多级管式反应器的第一级管式反应器输入口输入氢氟酸，再从多级管式反应器的最后一级管式反应器输出口输出氧化后氢氟酸，所述多级管式反应器内设置有氧化剂；S2、杂质含量检测器检测氧化后氢氟酸中杂质含量是否合格；S3、若氧化后氢氟酸中杂质含量检测的结果是合格，则将氧化后氢氟酸从多级管式反应器的最后一级管式反应器输出口输出，并进行超净过滤后再进行包装，形成电子级氢氟酸；S4、若氧化后氢氟酸中杂质含量检测的结果是不合格，则把氧化后氢氟酸输入多级管式反应器的第一级管式反应器输入口，进行再次氧化；在所述从多级管式反应器的第一级管式反应器输入口输入氢氟酸，再从多级管式反应器的最后一级管式反应器输出口输出氧化后氢氟酸的步骤中，所述多级管式反应器的前一级管式反应器输出口连接后一级管式反应器输入口，所述多级管式反应器内的上端和下端均设置有氧化剂；在杂质含量检测器检测氧化后氢氟酸中杂质含量是否合格的步骤中，判定氧化后氢氟酸中杂质含量检测结果是否合格的方法为：若氧化后氢氟酸中杂质离子浓度小于或等于预先设定的杂质离子浓度，则判定氧化后氢氟酸中杂质含量检测结果是合格的，否则，判定氧化后氢氟酸中杂质含量检测结果不合格；所述氧化后氢氟酸中杂质离子浓度的计算方法为以下表达式： 其中，ω为杂质离子浓度，ω的单位为ugkg，n为正整数，Tn为第n种杂质离子浓度的权重，M为单个样品的质量，M的单位为g，Mn为第n种杂质离子的质量,N为杂质含量检测器检测的样品总数，N为正整数；在所述从多级管式反应器的第一级管式反应器输入口输入氢氟酸，再从多级管式反应器的最后一级管式反应器输出口输出氧化后氢氟酸，所述多级管式反应器内设置有氧化剂的步骤中，所述从多级管式反应器的第一级管式反应器输入口输入氢氟酸的质量为以下表达式： 其中,C为第一级管式反应器输入口输入氢氟酸的质量，B为第一级管式反应器输入口输入的进行再次氧化的氢氟酸质量，A为第一级管式反应器输入口输入的氢氟酸总质量，AB，ρ为第一级管式反应器输入口输入的进行再次氧化的氢氟酸密度。

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