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申请/专利权人：罗地亚经营管理公司
摘要：本发明涉及具有粗糙表面的基于铈的颗粒以及其作为尤其用于化学机械抛光的抛光组合物的组分的用途。本发明还涉及这些基于铈的颗粒的制备方法。
主权项：1.一种用于生产基于铈的颗粒的方法，该方法包括以下步骤：a在惰性气氛下使碱的水溶液和包含NO3-、CeIII、任选地CeIV、任选地Mn+的水溶液与n价的金属M接触，其中碱总（Ce+任选的M）摩尔比与NO3-CeIII摩尔比之间的差小于2；b使步骤a中获得的混合物经受热处理，其中温度包括在55°C与75°C之间；c任选地酸化在步骤b中获得的该混合物；d任选地用水洗涤在步骤b或c结束时获得的固体材料；e任选地使在步骤d结束时获得的该固体材料经受机械处理以使这些颗粒解附聚；和其中所述基于铈的颗粒具有一个或多个其上有突起的面，所述突起与所述基于铈的颗粒整体形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗地亚经营管理公司 基于铈的颗粒、其生产方法及其在抛光中的用途
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