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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本申请公开了一种抛光头组件及化学机械抛光设备，该抛光头组件包括：主轴，所述主轴上设置有主轴连接部；抛光头，所述抛光头用于设置于所述主轴的轴向一侧，所述抛光头上设置有抛光头连接部；连接件，所述连接件用于套设于所述主轴连接部和所述抛光头连接部，且所述连接件还用于连接于所述主轴连接部和所述抛光头连接部，所述连接件与所述主轴连接部和所述抛光头连接部中的至少一者的所述连接为螺纹连接。本申请有利于降低主轴和抛光头之间的连接松动失效的几率，进而有利于降低损害设备的几率。
主权项：1.一种抛光头组件，其特征在于，包括：主轴，所述主轴上设置有主轴连接部；抛光头，所述抛光头用于设置于所述主轴的轴向一侧，所述抛光头上设置有抛光头连接部；连接件，所述连接件用于套设于所述主轴连接部和所述抛光头连接部，且所述连接件还用于连接于所述主轴连接部和所述抛光头连接部，所述连接件与所述主轴连接部和所述抛光头连接部中的至少一者的所述连接为螺纹连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 一种抛光头组件及化学机械抛光设备
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