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申请/专利权人：佳能安内华股份有限公司
摘要：本发明涉及等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器中并被接地。
主权项：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：第一巴伦，包括第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至所述第一平衡端子；第二电极，被电连接至所述第二平衡端子；接地电极，被布置在所述真空容器中并被接地；第二巴伦，包括第三不平衡端子、第四不平衡端子、第三平衡端子和第四平衡端子；第三电极，被电连接至所述第三平衡端子；以及第四电极，被电连接至所述第四平衡端子，其中，所述第四电极被布置在所述第三电极的周围，所述第一电极包括保持第一构件的第一保持面，所述第二电极包括保持第二构件的第二保持面，并且所述第一保持面和所述第二保持面属于一个平面，所述第三电极和所述第四电极被布置为与所述一个平面相对，当Rp’表示从所述第三平衡端子和所述第四平衡端子的侧来看所述第三电极和所述第四电极的侧时的所述第三平衡端子与所述第四平衡端子之间的电阻成分，并且X’表示所述第三不平衡端子与所述第三平衡端子之间的电感时，满足1.5≤X’Rp’≤5000。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能安内华股份有限公司 等离子体处理装置
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