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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：一种检验系统可包含：照明源，其用于产生照明光束；照明光学器件，其用于沿着照明方向以偏轴角将所述照明光束引导到样本；及集光光学器件，其用于在暗场模式中收集来自所述样本的散射光，其中来自所述样本的所述散射光包含与从所述样本的表面散射的光相关联的表面雾光，且其中所述表面雾光的至少一部分具有椭圆偏振。所述系统可进一步包含用于将跨光瞳的所述表面雾光的所述偏振转换为平行于选定雾光定向方向对准的线性偏振的光瞳平面光学器件。所述系统可包含用于拒绝平行于此雾光定向方向对准的所述表面雾光的线性偏振器及用于基于由所述线性偏振器传递的光产生所述样本的暗场图像的检测器。
主权项：1.一种检测系统，其包括：照明源，其经配置以产生照明光束；一或多个照明光学器件，其用于沿着照明方向以偏轴角将所述照明光束引导到样本；一或多个集光光学器件，其用于在暗场模式中响应于所述照明光束而收集来自所述样本的散射光，其中由所述一或多个集光光学器件收集的来自所述样本的所述散射光包含与从所述样本的表面散射的光相关联的表面雾光，其中所述表面雾光的至少一部分具有椭圆偏振；一或多个光学元件，其定位于所述一或多个集光光学器件的一或多个光瞳平面处，所述一或多个光学元件包括：第一偏振旋转器，其提供第一空间变化偏振旋转分布以将所述表面雾光旋转到选定定向方向，其中所述表面雾光的旋转包含所述椭圆偏振的长轴到所述选定定向方向的旋转；四分之一波板，其用于将来自所述第一偏振旋转器的所述表面雾光转换为线性偏振；及第二偏振旋转器，其提供第二空间变化偏振旋转分布以将来自所述四分之一波板的所述表面雾光的所述线性偏振旋转到选定雾光定向方向；线性偏振器，其经对准以拒绝平行于所述选定雾光定向方向偏振的光以拒绝来自所述第二偏振旋转器的所述表面雾光；及检测器，其用于基于由所述线性偏振器传递的来自所述样本的散射光产生所述样本的暗场图像，其中由所述线性偏振器传递的来自所述样本的所述散射光包含由所述样本的所述表面上的一或多个粒子散射的光的至少一部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于敏感粒子检测的连续退化椭圆延迟器
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