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申请/专利权人：华南理工大学
摘要：一种无线自供电装置、无线测温系统及无线测温方法，该无线自供电装置，包括阴极电子收集元件以及电路板；电路板安装在接地基台上，电路板的负极与阴极电子收集元件电性连接，电路板的正极与接地基台电性连接；电路板中设有滤波稳压电路。本发明通过无线自供电装置在镀膜腔体内部收集电子以形成自供电电源，无需电池供电，避免了在真空等离子体环境使用锂电池的风险；无线自供电装置安装在接地基台上且正对溅射阴极设置，同时还可以随着接地基台进行移动，使得测温精度较高；通过无线控制传输模块将温度传感器监测的温度数据信号，以无线方式传输至接收终端进行呈现，无需布线，从而简化测温结构；整个装置结构简单，安装和维护成本低。
主权项：1.一种无线测温系统，用于磁控溅射镀膜腔体内，其特征在于，包括无线自供电装置，设于电路板中的温度传感器和无线控制传输模块，以及设于磁控溅射镀膜腔体外的接收终端；阴极电子收集元件，用于收集磁控溅射过程中腔体内等离子体的自由电子，以与接地基台之间形成电压，并通过滤波稳压电路将所述电压转换为稳定的直流电压；所述温度传感器，用于在得到滤波稳压电路的直流电压供电后，实时监测所述阴极电子收集元件的温度并形成温度数据信号；所述无线控制传输模块，用于在得到滤波稳压电路的直流电压供电的同时，接收所述温度数据信号并将所述温度数据信号传递给所述接收终端；其中，所述无线自供电装置安装在磁控溅射镀膜腔体内，包括正对溅射阴极设置的阴极电子收集元件，以及安装于所述阴极电子收集元件底部的电路板；所述电路板安装在接地基台上，所述电路板的负极与所述阴极电子收集元件电性连接，所述电路板的正极与所述接地基台电性连接；所述电路板中设有滤波稳压电路，所述滤波稳压电路用于将所述阴极电子收集元件收集的电子所形成的电压转换为稳定的直流电压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华南理工大学 无线自供电装置、无线测温系统及无线测温方法
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