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光学天线、相控阵激光雷达及光学天线的二维扫描方法 

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申请/专利权人:武汉万集光电技术有限公司

摘要:本发明提供了一种光学天线、相控阵激光雷达及光学天线的二维扫描方法,该光学天线,包括:SOI衬底,波导结构层,间隔层,环形光栅结构层及保护层;在SOI衬底的顶部硅层形成波导结构层,在波导结构层的上方依次设置有间隔层,环形光栅结构层及保护层;波导结构层包括:辐射型条形波导阵列,模斑转换结构和圆形平板耦合区;辐射型条形波导阵列和圆形平板耦合区之间通过模斑转换结构连接;环形光栅结构层的折射率与间隔层及保护层的折射率的差值均大于预设阈值且所述环形光栅结构层的折射率高于所述间隔层及所述保护层的折射率。光波能够成功向上发射并抑制向下发射,从而获得高的辐射效率,并且辐射型条形波导阵列可分为多组,各组不同方向的光分时工作可实现二维扫描。

主权项:1.一种光学天线,其特征在于,包括:SOI衬底,波导结构层,间隔层,环形光栅结构层及保护层;在所述SOI衬底的顶部硅层形成所述波导结构层,在所述波导结构层的上方依次设置有间隔层,环形光栅结构层及保护层;所述波导结构层包括:辐射型条形波导阵列,模斑转换结构和圆形平板耦合区,所述辐射型条形波导阵列和所述圆形平板耦合区之间通过所述模斑转换结构连接;其中,所述环形光栅结构层的折射率与所述间隔层及所述保护层的折射率的差值均大于预设阈值且所述环形光栅结构层的折射率高于所述间隔层及所述保护层的折射率。

全文数据:

权利要求:

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