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申请/专利权人：国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司

摘要：本发明提供一种基于光学测量的透明基材表面粗糙度检测方法,属于光学检测技术领域；清洁透明基材表面，当透明基材表面符合检测标准时，根据预设精度和测量范围，确定检测装置并配置测量系统；基于测量系统测量透明基材表面的预设区域，利用激光器产生的单色光源对所述预设区域进行干涉测量，获取透明基材表面的初始信号数据；对初始信号数据进行预处理和标准化，得到干涉信号数据，分析干涉信号数据的信号特征，利用粗糙度还原模型还原透明基材表面的预设区域的表面粗糙度参数；将表面粗糙度参数和实际粗糙度参数对比，根据偏差程度对测量系统进行设备调整。提高了光学测量的精度，提高了快速识别微小器材表面粗糙度检测的效率。

主权项：1.一种基于光学测量的透明基材表面粗糙度检测方法，其特征在于，包括：步骤1：清洁透明基材表面，当透明基材表面符合检测标准时，根据预设精度和测量范围，确定检测装置并配置测量系统；步骤2：基于测量系统测量透明基材表面的预设区域，利用激光器产生的单色光源对所述预设区域进行干涉测量，获取透明基材表面的初始信号数据；步骤3：对初始信号数据进行预处理和标准化，得到干涉信号数据，包括：使用标准滤波器来滤除初始信号数据的高频噪声，得到第一信号数据，将第一信号数据划分多个节点并分别获取任一节点的节点信号数据，将任一节点的节点信号数据进行归一化长度处理，获取到对应长度的标准节点信号；通过相位恢复算法，提取每个标准节点信号的相位度，并根据相位度将对应标准节点信号映射到标准信号坐标系上，包括 ；其中，表示对应标准节点信号的相位度，表示对应标准节点信号下第i个时间间隔对应的信号值，表示对应标准节点信号下第i个时间间隔的长度，表示对应标准节点信号下第i个时间的预设角频率，表示对应标准节点信号共有n个时间间隔；根据标准信号坐标系的映射结果得到所有节点的干涉信号数据；分析干涉信号数据的信号特征，包括：将与透明基材表面相关的绝对标准光滑表面的干涉信号作为标准样例信号，将标准样例信号分别与每个节点的干涉信号数据进行时间间隔对齐后的对比分析，得到对应干涉信号数据的特征信号： ；其中，表示对应干涉信号数据的特征信号，表示对应干涉信号数据共有m个时间间隔，表示对应干涉信号数据的输入信号，表示对应干涉信号数据的第j个时间间隔的信号值，表示对齐后的标准样例信号的第j个时间间隔的信号值，表示对齐后的标准样例信号的最小信号，表示信号调整函数；根据所有节点的特征信号，且结合每个节点的特征信号中涉及到的负数个数以及非负个数，获取信号特征；利用粗糙度还原模型还原透明基材表面的预设区域的表面粗糙度参数，包括：拆分所有节点的信号特征并根据表面粗糙参数-信号特征映射表，得到不同节点下对应的第一粗糙参数；将节点按照时间排布顺序进行排序后，按照时间排序筛选出对应节点基于不同类型的表面粗糙参数，并将同类型下的参数视为第二粗糙参数；将第一粗糙参数和第二粗糙参数进行同类正态分布处理，获取标准差和均值得到标准粗糙参数，其中，所述预设区域的所有标准粗糙参数即为表面粗糙度参数；步骤4：将表面粗糙度参数和实际粗糙度参数进行对比，得到偏差程度，根据偏差程度对测量系统进行设备调整。

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