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申请/专利权人：苏州铼铂机电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于高温键合的真空压板，包括抬杆、压板本体、气膜和真空环，抬杆与压板本体连接，气膜的外周与压板本体的底面连接，气膜与压板本体的底面之间构成正压气室，真空环固定连接于压板本体的底面，真空环设有真空下气道，真空下气道在真空环的顶面形成连接下口，真空下气道在真空环的内环面形成抽气口，压板本体设置正压气道和真空上气道，正压气道与正压气室连通，真空上气道在压板本体的底面形成连接上口，连接上口和连接下口密封对接，正压气道、真空上气道和真空下气道都为一体式孔道。本实用新型还公开了具有该真空盖板的用于高温键合的装置。本实用新型可减少高温漏气的风险，使用寿命高。
主权项：1.一种用于高温键合的真空压板，其特征在于，包括抬杆、压板本体、气膜和真空环，所述抬杆与所述压板本体连接，所述气膜的外周与所述压板本体的底面连接，所述气膜与所述压板本体的底面之间构成正压气室，所述真空环固定连接于所述压板本体的底面，所述真空环设有真空下气道，所述真空下气道在所述真空环的顶面形成连接下口，所述真空下气道在所述真空环的内环面形成抽气口，所述压板本体设置正压气道和真空上气道，所述正压气道与所述正压气室连通，所述真空上气道在所述压板本体的底面形成连接上口，所述连接上口和所述连接下口密封对接，所述正压气道、所述真空上气道和所述真空下气道都为一体式孔道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州铼铂机电科技有限公司 用于高温键合的真空压板及装置
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