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键合检测装置及方法 

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申请/专利权人:重庆康佳光电技术研究院有限公司

摘要:本申请涉及一种键合检测装置及方法,键合检测方法包括:在生长基板背向发光元件的一侧设置液晶组件;在液晶组件背向生长基板的一侧设置第一电极层,在第一电极层背向液晶组件的一侧设置第一偏振片;在暂态基板背向胶层的一侧设置第二电极层,在第二电极层背向暂态基板的一侧设第二偏振片,第一偏振片和第二偏振片的偏振方向正交;对第一偏振片照射均匀的光线,光线朝向第二偏振片的方向出射;对第一电极层和第二电极层通电,以使液晶组件的液晶产生偏转;在第二偏振片一侧检测出射的光线的均匀性,以检测胶层的厚度均匀性,设计思路简单,操作容易,可以判断生长基板和暂态基板绑定的效果。

主权项:1.一种键合检测方法,其特征在于,所述键合检测方法用于检测键合的生长基板和暂态基板,所述生长基板上的发光元件与所述暂态基板上的胶层连接;所述键合检测方法包括:在所述生长基板背向所述发光元件的一侧设置液晶组件;在所述液晶组件背向所述生长基板的一侧设置第一电极层,在所述第一电极层背向所述液晶组件的一侧设置第一偏振片;在所述暂态基板背向所述胶层的一侧设置第二电极层,在所述第二电极层背向所述暂态基板的一侧设第二偏振片,所述第一偏振片和所述第二偏振片的偏振方向正交;对所述第一偏振片照射均匀的光线,光线朝向所述第二偏振片的方向出射;对所述第一电极层和所述第二电极层通电,以使所述液晶组件的液晶产生偏转;在所述第二偏振片一侧接收出射的光线,用以检测所述胶层的厚度和均匀性。

全文数据:

权利要求:

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