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申请/专利权人：青海高景太阳能科技有限公司;高景太阳能股份有限公司
摘要：本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种单晶炉热场结构，本实用新型的单晶炉热场结构包括第一加热器、第二加热器和第三加热器，第一加热器用于加热坩埚的直壁，第二加热器用于加热坩埚的底部，第三加热器围合于坩埚R角结构的外周，第二加热器和第三加热器串联以使两者的电流一致，第二加热器和第三加热器的电阻一致以使两者的发热量相等，这样的设计能够保证第二加热器和第三加热器能够均匀地加热坩埚下部底部与R角结构的位置，加速熔料，进而缩短高温加热时间，也就缩短了第一加热器对坩埚直壁的烘烤时间，从而降低坩埚直壁的异常风险。
主权项：1.一种单晶炉热场结构，其特征在于，包括：第一加热器，套设在坩埚上并对准坩埚的直壁；第二加热器，位于坩埚的下方并对准坩埚的底部；第三加热器，设置在所述第一加热器和所述第二加热器之间，所述第三加热器围合于坩埚R角结构的外周；其中，所述第二加热器与所述第三加热器串联连接，并且所述第二加热器与所述第三加热器的电阻相等。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青海高景太阳能科技有限公司 高景太阳能股份有限公司 一种单晶炉热场结构
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