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申请/专利权人：上海松尚集芯半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种纯水加热辅助循环系统，涉及半导体技术领域。本实用新型包括柜体，柜体内设有储水存储罐；本方案将从厂务过来的纯水，基于储水存储罐提前存储，在主机台需要热水时能够直接用到所需温度的纯水，避免了等待时间，也避免了主机台将起始没到温度的纯水排掉的浪费，从而节约用水量；能够避免主机台对纯水的浪费，并且节省主机工序的工作等待时间；厂务的纯水经过纯水经过纯水加热器加热后不直接送往主机台，而是流入柜体内部的纯水存储罐中，经过流体泵的循环，达到预定温度，在需要时，能够直接将加热好的纯水供给给主机台，能够满足主机台随时用热纯水的需求。
主权项：1.一种纯水加热辅助循环系统，包括柜体5，其特征在于，所述柜体5内设有储水存储罐1；供应的纯水由纯水供应端105经带有第二手阀106、第一二通阀103的管路与储水存储罐1相连；位于第二手阀106与第一二通阀103之间接出带第二二通阀107的管路与外部的加热器3的纯水入水口相连；所述加热器3的纯水出水口通过三通阀104分别与储水存储罐1以及外部的主机台6相连，由主机台入水管111与主机台6相连通；所述主机台6的主机台出水管109经带有第一手阀110的管路连接电磁阀组2，所述电磁阀组2的第一路与三通阀104相连，第二路与流体泵113相连，第三路与第一二通阀103相连，第四路与第二二通阀107相连，第五路与虹吸阀108相连；所述储水存储罐1的底部分别接出管路与流体泵113、第三手阀112相连，所述流体泵113通过带有止回阀115的管路与加热器3的纯水入水口相连；所述第三手阀112与虹吸阀108相连，且二者之间设有废水排放管114。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海松尚集芯半导体科技有限公司 一种纯水加热辅助循环系统
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